Микромеханические системы и элементы - страница 16
На рис. 1.6 и 1.7 (выше) представлены симметричный чувствительный элемент емкостного акселерометра и вид установки на МЭМС-пластину интегральных микросхем.
Благодаря технологии CoM можно получить полноценное функциональное МЭМС-устройство с размером корпуса по периметру 4×2 мм и высотой 1 мм. Данная технология полностью готова для производства датчиков, как для небольших партий, так и в промышленных масштабах.
В табл. 1.2 представлены технические характеристики емкостного трехосевого акселерометра.
Таблица 1.2. Технические характеристики емкостного трехосевого акселерометра
Благодаря отличным характеристикам по стабильности и вибрационной надежности рассматриваемые акселерометры могут успешно применяться в следующих сферах:
• электронный контроль стабильности движения контролируемого устройства;
• система помощи при старте двигателя на подъеме;
• электронный стояночный тормоз;
• электронная защита от переворачивания;
• регулировка подвески;
• контроль углов наклона;
• встроенные инерциальные системы;
• применение в промышленности для различных устройств.
1.4. Производители МЭМС-акселерометров
Существует много способов производства и применения микроэлектромеханических сенсоров. В качестве производственных площадок можно отметить немецкие предприятия, входящие в состав Ассоциации Silicon Saxony e.V., институт Fraunhofer, корпорации Honeywell International Inc. и Analog Devices Inc. (США), Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ), a также компании-производители радиоэлектронных компонентов, расположенные в разных странах мира.
Работа организуется по следующим актуальным направлениям:
• выработка рекомендаций для заказчиков по применению тех или иных сенсоров мировых производителей при производстве российских систем;
• поставка различных датчиков (на базе МЭМС и других принципах) для измерения ускорения, угловых скоростей, давления, скорости потока жидкости или газа, температуры, влажности, определения движения объекта и его скорости, распознавания магнитных полей (компас);
• доработка различных сенсорных компонентов известных мировых производителей под требования заказчика (изменение в ту или иную сторону диапазона измерений, функциональных характеристик и т. д.) с дальнейшим производством доработанных датчиков на «родном» заводе-изготовителе;