В первой половине XVI века началась тенденция к ограничению произвола наместников из-за многочисленных жалоб на них. Правительство начало назначать в города городовых приказчиков, а в 40-х годах XVI века появились первые местные учреждения – губные избы под руководством губных старост и целовальников.
Во второй половине XVI века наместничье управление было заменено воеводским, и в процессе отмены кормлений появились органы местного самоуправления – земские избы с земским старостой, дьяками и целовальниками. Указ Иоанна IV в 1555 году направлен на полное устранение системы кормления. Однако позднее органы местного самоуправления были поглощены воеводской властью, что привело к злоупотреблениям должностным положением и воеводами.
В дальнейшем развивалась приказная система, и в результате произошел рост численности населения, занимающегося государственной службой. Например, в 1626 году в приказах и московских учреждениях работало всего 623 человека, а к концу века уже 27622.
С установлением государственных органов управления чиновники начали получать различные виды жалования за свою службу – поместные и денежные оклады. Размеры и состав этого жалования соответствовали иерархической структуре чиновничества. Однако основная масса чиновников, такие как дьяки и подьячие, находилась в бедных условиях в плане материального обеспечения по сравнению с их начальниками. Это также способствовало появлению коррупционных проявлений.
В XVIII веке проведенные реформы в области государственного управления привели к законодательному оформлению всех органов государственного управления с определенной структурой, численностью и компетенцией. Правовой статус чиновников был закреплен в «табелях о рангах», изданных Петром I в 1722 году. Этим документом были полностью устранены следы и предания древнего местничества, и признавалось, что почет и служебный статус можно получить только на основе заслуг. За исключением крепостных и тяглых людей, гражданскую службу могли вести лица всех званий.
В результате проведенных реформ возросло количество учреждений и чиновников, особенно среднего звена, таких как подьячие и канцеляристы. К примеру, в середине 50-х годов XVIII века общая численность чиновников в государственных и дворцовых учреждениях составляла 5379 человек.